蜗牛派讯中芯国际方面7日下午表示：“极紫外光（EUV）还在纸面工作阶段，未进行相关活动。公司先进工艺研发进展顺利。目前，研发与生产的连结一切正常。客户与设备导入正常运作。”据了解，中芯国际目前量产的最先进制程为14nm，12nm已经取得重大突破。而EUV光刻机主要用在7nm及以下制程。
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