行业报告 光刻机行业专题报告:市场高度垄断,国产设备从利基市场切入-国泰君安1蜗牛派 发布于 2020-07-16报告简介: 光刻机技术壁垒高且投资占比大,芯片尺寸的缩小以及性能的提升依赖于光刻技术的发展。光刻设备从光源(从最初的g-Line,i-Line发展到极紫外EUV)、曝光方式(从接触式到步进式,从干式投影到浸没式投影)不断进行着改进。目前光刻机主要可以分为主流IC前道制造光刻机、I...标签:光刻机行业专题报告 / 国泰君安 / 市场高度垄断,国产设备从利基市场切入