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行业报告

光刻机行业专题报告:市场高度垄断,国产设备从利基市场切入-国泰君安

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蜗牛派 发布于 2020-07-16

报告简介: 光刻机技术壁垒高且投资占比大,芯片尺寸的缩小以及性能的提升依赖于光刻技术的发展。光刻设备从光源(从最初的g-Line,i-Line发展到极紫外EUV)、曝光方式(从接触式到步进式,从干式投影到浸没式投影)不断进行着改进。目前光刻机主要可以分为主流IC前道制造光刻机、I...

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