行业报告 复盘ASML发展历程，探寻本土光刻产业链投资机会-西南证券1蜗牛派 发布于 2020-06-20报告简介： 光刻机:芯片制造中最核心设备,复杂程度高,形成庞大产业链。光刻环节是晶圆制造中最核心工艺,占晶圆制造耗时40%-50%,占芯片成本30%。作为光刻工艺的核心设备,光刻机结构复杂、成本极高,占晶圆制造设备投资23%。 区别于其他晶圆制造设备,浸没式DUV和EUV光刻机可...标签：复盘ASML发展历程，探寻本土光刻产业链投资机会 / 西南证券
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